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維薩拉 BAROCAP? 壓力傳感器技術(shù)
日期：2024-11-17 08:37
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摘要：
維薩拉 BAROCAP® 是維薩拉于 1985 年第 一次推出一種硅基微型機(jī)械壓力傳感器，可以在從氣象到工業(yè)測(cè)量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。因?yàn)榻Y(jié)合 采用了兩項(xiàng)強(qiáng)大技術(shù) —— 單晶硅材料和電容測(cè)量，所以其 BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的特點(diǎn)。
工作原理
BAROCAP 是一種微型機(jī)械傳感器，它利用其硅膜的尺寸變化來(lái)測(cè)量壓力。隨著周圍壓力增加或降低，膜會(huì)彎曲，從而增大或減小傳感器內(nèi)部真空間隙的高度。真空間隙相對(duì)的兩個(gè)面充當(dāng)電極，隨著兩個(gè)電極之間距離的變化，傳感器的電容也會(huì)...
維薩拉 BAROCAP® 是維薩拉于 1985 年第 一次推出一種硅基微型機(jī)械壓力傳感器，可以在從氣象到工業(yè)測(cè)量的廣泛應(yīng)用中提供可靠的性能。因?yàn)榻Y(jié)合 采用了兩項(xiàng)強(qiáng)大技術(shù) —— 單晶硅材料和電容測(cè)量，所以其 BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準(zhǔn)確度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的特點(diǎn)。
工作原理
BAROCAP 是一種微型機(jī)械傳感器，它利用其硅膜的尺寸變化來(lái)測(cè)量壓力。隨著周圍壓力增加或降低，膜會(huì)彎曲，從而增大或減小傳感器內(nèi)部真空間隙的高度。真空間隙相對(duì)的兩個(gè)面充當(dāng)電極，隨著兩個(gè)電極之間距離的變化，傳感器的電容也會(huì)發(fā)生變化。測(cè)量電容并將其轉(zhuǎn)換為壓力讀數(shù)。BAROCAP 傳感器屬性 —— 該傳感器的單晶硅材質(zhì)帶來(lái)了良好的特性：彈性好、滯后性低、重復(fù)性好、低溫依賴性和卓 越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。電容式結(jié)構(gòu)使傳感器具有較寬的動(dòng)態(tài)范圍，并為超壓阻斷提供了內(nèi)置機(jī)制。